Prowadzący:
I. Wytwarzanie nanostruktur z wykorzystaniem litografii SEM
- Przygotowanie substratu do wypalania struktury (1h)
- Wykorzystanie modułu litograficznego SEM do wypalania nanostruktury w naniesionej wcześniej warstwie polimerowej (5h)
- Naparowanie metalu (magnetycznego lub niemagnetycznego) (0.5h)
- Obrazowanie naniesionej struktury wykorzystując mikroskopię AFM (MFM) lub SEM (3.5h)
II. Wytwarzanie nanostruktur z wykorzystaniem fotolitografii
- Przygotowanie substratu do wypalania struktury (1h)
- Naświetlenie przygotowanego podłoża wykorzystując stanowisko do fotolitografii (3h)
- Naparowanie metalu (magnetycznego lub niemagnetycznego) (0.5h)
- Obrazowanie naniesionej struktury wykorzystując mikroskopię AFM (MFM) lub SEM (3.5h)
III. Wytwarzanie nanostruktur z wykorzystaniem FIB
(4h) oraz obrazowanie tejże struktury wykorzystując mikroskopię AFM lub SEM (3.5h).