Laboratorium Cleanroom jest zaprojektowane i utrzymywane w standardach zgodnych z normami: ISO 14644-1: 1999, ISO 14644-1: 2015 oraz EU GMP (Guide to Good Manufacturing Practise).
Oprócz niżej wymienionych elementów wyposażenia laboratoryjnego, istotnymi pomieszczeniami laboratorium Cleanroom CNBM są również: szatnia (pom. 0/6d), korytarz "czysty" (pom. 0/6f), korytarze "brudne" (pom. 0/6g oraz 0/6h, pełniące funkcję zaplecza technicznego z zaopatrzeniem w niezbędne media) oraz śluzy: dwie ciśnieniowe i jedna rotacyjna (niezbędne do prawidłowego obiegu powietrza między strefami czystymi, regulacji ciśnień roboczych oraz zapewnienia odpowiedniego reżimu sanitarnego i sterylnego).
Cleanroom A (pom. 0/6a)
Wysokopróżniowa maszyna do naparowywania materiałów
- Dwie komory wzrostu do osadzania warstw metalicznych magnetycznych/niemagnetycznych z systemem
load-lock - System próżniowy z pompami kriogenicznymi (< 5x10-9 mbar)
- Działo elektronowe (Telemark, 6 tygli x 7 cm3)
- Działo jonowe (Tectra) do czyszczenia podłoży przed naparowaniem
- Manipulator UHV
- średnica płytek: 0,2” – 4” (różne kształty)
- kąt nachylenia podłoże-źródło par: +/- 50°
- regulowana szybkość obrotu podłoża
- rozdzielczość obrotu nośnika: 1°
- Miernik grubości i układ pomiaru szybkości naparowywania
Mikroskop sił atomowych Innova Bruker
Zakres skanowania XY do 90 µm2, Z=7.5 µm, i 5 µm2 Z=1.5 µm, unikatowy optoelektroniczny system Closed-Loop stabilizujący pracę skanera przy utrzymaniu niskiego poziomu szumów, rozdzielczość atomowa.
Dostępne tryby pracy: Contact Mode (w powietrzu), Tapping Mode (w powietrzu), PhaseImaging, Lift Mode, Magnetic Force Microscopy (MFM), Electrostatic Force Microscopy (EFM), Dark Lift, Lateral Force, Microscopy, Nano-Indentation, Scanning Tunneling Microscopy STM, Low Current STM, Conductive AFM, STM with EC, Contact and Tapping Modes with EC, Surface Potential, Piezoresponse, Scanning Capacitance, Force Modulation.
Dostępne tryby pracy: Contact Mode (w powietrzu), Tapping Mode (w powietrzu), PhaseImaging, Lift Mode, Magnetic Force Microscopy (MFM), Electrostatic Force Microscopy (EFM), Dark Lift, Lateral Force, Microscopy, Nano-Indentation, Scanning Tunneling Microscopy STM, Low Current STM, Conductive AFM, STM with EC, Contact and Tapping Modes with EC, Surface Potential, Piezoresponse, Scanning Capacitance, Force Modulation.
Cleanroom B (pom. 0/6b)
Reaktor do osadzania warstw o grubości atomowej
- Komora reakcyjna „top-flow” (jednolity, pionowy przepływ gazu ortogonalny do podłoża), zintegrowana w komorze próżniowej, podgrzewana
- Źródła prekursorów
- dla prekursorów gazowych
- dla prekursorów cieczowych
- dla prekursorów ciecz/gaz podgrzewane do 300°C
- Maksymalna temperatura procesu: 500°C
- Wymiar wafli: do 200 mm x 10 mm
- Podłoża 3D: do 150 mm x 120 mm
- Gazy nośne: azot, argon
- System załadowczy load-lock
Maszyna do trawienia jonowego
- Układ RIE do obróbki jonowej podłoży krzemowych o średnicy do 200 mm
- Komora załadowcza z systemem transferu próbek
- Zmiennoprądowe (RF) źródło plazmy z górna i dolną elektrodą w konfiguracji równoległej. Generator plazmy: częstotliwość 13.56 MHz, 600 W
- Linie gazowe: Ar, O2, SF6, CHF3
- System pompowy: pompa próżni wstępnej, pompa turbomolekularna
- Układ do prowadzenia procesu skierowanego od góry w dół, wykorzystującego gazy robocze zawierające tlen, fluor lub chlor
- Układ sterowania z procedurami trawienia materiałów zawierających krzem (Si, SiO2, Si3O4)
- Jednorodność procesu trawienia: < +/- 3% na 100 mm podłożu
- Powtarzalność procesu: < +/- 3% na 200 mm podłożu
- Szybkość trawienia SiO2 > 0.1 µm/min
Cleanroom C (pom. 0/6c)
Urządzenie do centrowania masek wraz z depozytorem rotacyjnym
- Tryby naświetlania: bez maski, górne centrowane, zbliżeniowe (z regulacją szczeliny: 1-300 µm),
„soft-contact” (z regulacją ciśnienia: 0.1-40 N), „hard contact” (z regulacją ciśnienia), „vacuum contact” (z regulacją poziomu próżni) - Stolik do centrowania z precyzyjnym regulatorem
- Mikroskop cyfrowy (podgląd od góry)
- dwupolowy, manualny
- kamera CCD o wysokiej zdolności rozdzielczej
- 2 obiektywy (10x)
- cyfrowy zoom (4x)
- System optyczny, źródło światła (NUV)
- Uchwyty do podłoży (Ø 100, 150 mm) i masek (Ø 125, 175 mm)
Cleanroom D 10000 (pom. 0/6e)
Maszyna do połączeń drutowych ultra i termo kompresyjnych typu 53xxBDA
- Maszyna 53xx BDA może być używana jako ultradźwiękowy łącznik kulowo-klinowy do cienkich złotych drutów, po wybraniu wersji oprogramowania 5310, lub jako łącznik klinowo-klinowy głębokiej penetracji dla drutów aluminiowych i złotych, po wybraniu wersji oprogramowania 5332,
- Specjalna konstrukcja głowicy klejącej. Zmiana z jednej opcji spajania na inną jest prostym procesem obejmującym jedynie szybką i łatwą wymianę drutu i narzędzia spajającego,
- Gotowość do pracy po uruchomieniu odpowiedniego oprogramowania,
- Możliwość łączenia drutów taśmowych o szerokości od 30 do 250 μm,
- Temperatura pracy: 18-24,5°C,
- Wilgotność względna: 45% +/- 10%, bez kondensacji,
- Napięcie zasilania: 115 - 230 V AC,
- Częstotliwość napięcia: 50 - 60 Hz,
- Zainstalowane obciążenie: 230W,
- Emisja hałasu: <70dBA,
- Podciśnienie: <300 mbar (średnica zew. 6 mm).
Waga laboratoryjna OHAUS AX Adventurer AX223
- Działka elementarna d: 0,001g.,
- Max. zakres pomiarowy: 220g.,
- Rozmiar szalki: 130mm.,
- Kalibracja wewnętrzna: tak,
- Czas stabilizacji: 2s.,
- Kolorowy, graficzny, dotykowy wyświetlacz o przekątnej 4.3",
- Szklana szafka przeciw-podmuchowa, kaskadowe boczne drzwiczki, górne prowadnice,
- Stół wagowy antywibracyjny o wymiarach: 900x600x750mm z wibro-izolatorami i kamieniem granitowym o wymiarach: 400x400x50-60mm.
