Przygotowanie i wytwarzanie nanostruktur

Kurs wstępny

• Kurs z zakresu bezpieczeństwa i higieny pracy w pomieszczeniach cleanroom (1h)

I. Fotolitografia

• Przygotowanie substratu do wypalania struktury – spin coater (1h)
• Naświetlenie przygotowanego podłoża (3h)

II. Osadzanie cienkich warstw atomowych (ALD)

• Osadzanie warstwowych atomowych na bazie tlenków metali (2h)

III. Napylarka

• Naparowanie metalu (magnetycznego lub niemagnetycznego) (1h)

IV. Reaktywne Trawienie Jonowe (RIE)

• Jonowe wytrawianie podłoży fotorezystywnych i krzemoorganicznych (2h)

V. Wirebonder

• Wytwarzanie cienkodrutowych połączeń termoutwardzalnych (1h)