Pracownia Cleanroom


Przygotowanie i wytwarzanie nanostruktur

 

Kurs wstępny

  • Kurs z zakresu bezpieczeństwa i higieny pracy w pomieszczeniach cleanroom (1h)
 

I. Fotolitografia

  • Przygotowanie substratu do wypalania struktury – spin coater (1h)
  • Naświetlenie przygotowanego podłoża (3h)
 

II. Osadzanie cienkich warstw atomowych (ALD)

  • Osadzanie warstwowych atomowych na bazie tlenków metali (2h)
 

III. Napylarka

  • Naparowanie metalu (magnetycznego lub niemagnetycznego) (1h)
 

IV. Reaktywne Trawienie Jonowe (RIE)

  • Jonowe wytrawianie podłoży fotorezystywnych i krzemoorganicznych (2h)
 

V. Wirebonder

  • Wytwarzanie cienkodrutowych połączeń termoutwardzalnych (1h)

Kontakt | Baza kontaktów | RSS | Login
© 2017 CENTRUM NANOBIOMEDYCZNE UAM | ul. Umultowska 85, PL61614 Poznań, Poland | tel.+48 61 829 67 04.

Developed by drupalninja.pl